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邑文科技是一家集成电路前道制造工艺(刻蚀工艺、薄膜工艺)的设备供应商,提供新一代半导体材料(碳化硅、氮化镓、砷化镓等)的刻蚀、薄膜工艺设备是邑文科技目前的重要发展方向。邑文科技目前已销售的新一代半导体材料设备,是在再制造的硅基设备基础上根据新一代化合物半导体材料的工艺要求对设备进行定制化升级改造完成的。另外,邑文科技的自主产权的全新设备目前正在加速研发中。
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